金融界2024年11月26日消息,国家知识产权局信息显示,江苏芯梦半导体设备有限公司申请一项名为“一种半导体容器清洗用装载架及半导体容器处理设备”的专利,公开号 CN 119016466 A,申请日期为 2024 年 10 月。

专利摘要显示,本申请提供了一种半导体容器清洗用装载架及半导体容器处理设备,半导体容器包括盒体和盖体,装载架包括:框架,包括盒体安置区域和盖体安置区域;排出组件,可拆卸地设置在盒体安置区域,包括安装在框架上的快排件、第一流体管道和第二流体管道,快排件包括出液通道,第一流体管道和第二流体管道分别与出液通道连通,至少部分排出组件位于盒体内;夹持组件,其被固定设置在盖体安置区域,且夹持组件具有一容置空间,盖体被夹持固定在容置空间内,夹持组件受到外力可在盖体安置区域转动,以带动盖体转动,流体可穿过容置空间流动,盖体能够被固定在夹持组件的容置空间内,且流体可以穿过容置空间流动,能够提高盒体与盖体的清洗效果和干燥效果。

本文源自:金融界

作者:情报员