金融界 2024 年 11 月 27 日消息，国家知识产权局信息显示，浙江晟霖益嘉科技有限公司申请一项名为“一种空间型原子沉积真空设备生产线”的专利，公开号 CN 119020756 A，申请日期为 2024 年 10 月。

专利摘要显示，本发明公开了一种空间型原子沉积真空设备生产线，包括依次相连的上料平台、进出料及加热腔体和工艺镀膜腔体；所述工艺镀膜腔体中配置有喷淋组件和加热平台，所述进出料及加热腔体内上侧和下侧分别配置红外线灯管组；所述进料及加热腔体的两侧设置有闸阀，各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室，所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载板向前输送，每个腔体上至少设置两路冷却管道。本发明提供的空间型原子沉积真空设备生产线，适用在常温至高温 250 度状态下稳定运行，有良好的密封性，能在有效成膜范围内高效的成膜，而且真空状态下的输送信赖性高，方便拆卸和维护。

本文源自：金融界

作者：情报员