金融界2024年11月28日消息,国家知识产权局信息显示,磬宇(苏州)半导体科技有限公司取得一项名为“一种研磨液二合一供液器组”的专利,授权公告号CN 222060005 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明涉及化学品设备技术领域,特别是涉及一种研磨液二合一供液器组,包括供液基座,一体式设于供液基座两端、连通供液基座设置的出液接口和进液接口,进液口在供液基座上设有两组,两组进液口分别为设于出液接口对侧的底液口、和延伸出供液基座设置的侧液口,且底液口和侧液口之间夹角呈锐角设置,通过一体式设于供液基座两端、连通供液基座设置的出液接口和进液接口,能够实现一个供液点供出两种研磨液,解决了原有机台供液装置落点多、研磨效率无法保证、无法混合研磨液、且易回流造成污染,使研磨液可以同时供出,进而提升研磨效率和良率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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