金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，上海亚曼光电科技有限公司取得一项名为“一种光刻机投影物镜安装调平装置”的专利，授权公告号CN 222071054 U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型涉及光刻机投影物镜调平领域，尤其涉及一种光刻机投影物镜安装调平装置。包括机体和连接结构，所述机体的一侧设置有底板，所述底板借助连接结构与机体进行连接，所述底板的上表面安装有移动组件，所述移动组件的一端安装有加工物镜，所述底板的一端设有辅助结构，所述辅助结构包括两个滑槽，两个所述滑槽开设在底板上，所述滑槽的内壁滑动连接有滑块，所述滑槽的内部转动连接有丝杆，所述丝杆与滑块螺纹连接，所述丝杆远离滑槽的一端固定连接有把杆，所述滑块的上表面固定连接有连接杆，本实用新型提供的一种光刻机投影物镜安装调平装置具有可以方便对光刻机的投影物镜进行调平的优点。

本文源自：金融界

作者：情报员