中微半导体取得一种在线测量晶圆曲率的测量系统和测量方法专利 金融界 2024-12-07 11:20 ·北京 金融界2024年12月7日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体(上海)有限公司取得一项名为“一种在线测量晶圆曲率的测量系统和测量方法”的专利,授权公告号 CN 118670299 B,申请日期为2024年8月。本文源自:金融界作者:情报员
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