金融界2024年12月9日消息，国家知识产权局信息显示，无锡釜川科技股份有限公司申请一项名为“隧道烘干装置及其烘干方法”的专利，公开号CN 119085294 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明涉及硅片烘干技术领域，尤其涉及一种隧道烘干装置及其烘干方法，隧道烘干装置包括：烘干箱体、输送轨道、第一驱动件以及烘干机构，输送轨道贯穿烘干箱体，且输送轨道用于承载并输送花篮，第一驱动件位于输送轨道的上料位，并用于调节相邻两个花篮之间的间距，烘干机构包括：送风部、第一烘干部以及第二烘干部，送风部安装在烘干箱体的侧壁上，第一烘干部、第二烘干部均与送风部相连通，第一烘干部、第二烘干部均位于烘干箱体的内部，且第一烘干部位于花篮的上方，第二烘干部位于花篮的下方。本发明第一烘干部从上往下吹风，第二烘干部从下往上吹风，对花篮进行烘干作业，该方式能够将硅片的烘干时间缩短至500S，并能够提高硅片的烘干效果。

本文源自：金融界

作者：情报员