金融界2024年12月11日消息，国家知识产权局信息显示，郑州三磨超硬材料有限公司申请一项名为“一种一体式卧式碳化硅晶舟及其制备方法”的专利，公开号CN 119100801 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明属于半导体装备用精密陶瓷部件技术领域，具体涉及一种一体式卧式碳化硅晶舟及其制备方法。本发明通过将注浆体系混合料和不同粒度的碳化硅粉体混合、球磨，得到浆料，然后浇注得到碳化硅晶舟素坯，最后再通过排胶、浸渍、反应烧结等工序，得到碳化硅晶舟产品。本发明通过对浆料组成以及制备工艺参数进行调整，以实现碳化硅晶舟的一体化制备，并对碳化硅晶舟产品的性能进行改善。本发明所述制备方法在反应烧结时采用涂覆Si N 的方式取代传统的BN阻渗避免了B杂质的引入。本发明中的浆料在制备时采用四级颗粒配比，通过颗粒紧密堆积制备出高固含量的浆料。本发明的制备方法工序简单、制备周期短，避免了多工序过程中杂质的引入。

本文源自：金融界

作者：情报员