金融界2024年12月16日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“喷杆调节装置及喷杆调节方法”的专利，公开号 CN 119114494 A，申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示，本申请一种

喷杆调节装置及喷杆调

节方法，所述喷杆用于

晶圆清洗装置，喷杆调

节装置包括：落点标定

件，其可拆卸地安装在

所述晶圆清洗装置中，

并且其上设置有与晶圆

上的预设喷液落点匹配

的落点标识；以及指向调节件，其包括与所述喷杆可拆卸地连

接的连接部和与所述连接部连接的定位部，所述指向调节件的

延伸方向与所述喷杆喷出清洗液的喷射方向匹配，所述指向调

节件配置成带动所述喷杆绕其轴线转动至所述定位部与所述

落点标识对准，以使所述喷杆能够将清洗液喷射到所述预设喷

液落点。根据本申请的技术方案，通过落点标定件和指向调节

件的匹配性调节设计，提高了喷杆角度调节准确性和便捷性。

本文源自：金融界

作者：情报员