金融界2024年12月18日消息，国家知识产权局信息显示，上海哥瑞利软件股份有限公司申请一项名为“一种宏观微观结合的晶圆缺陷智能定位系统及其工作方法”的专利，公开号 CN 119125156 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明涉及一种宏观微观结合的晶圆缺陷智能定位系统，包括宏观相机组、运动机构、计算机、微观相机，运动机构与宏观相机组传动连接，宏观相机组和微观相机均与计算机连接，计算机通过建立缺陷检测模型、最佳角度预测模型和宏微观关联模型处理宏观相机组和微观相机收集的图像数据。系统的工作流程包括宏观相机扫描；最佳角度拍摄；宏观角度拍摄；宏观缺陷检测；微观概率预测；微观拍摄；微观缺陷检测；结果汇总。本发明使用一种宏观微观结合的晶圆缺陷智能定位系统通过三个模型的联合使用，并嵌入现有业务流程，可实现缺陷位置的高速准确自动定位，整体提升质检效率，帮助企业进行良率提升、工艺管控与知识积累。

本文源自：金融界

作者：情报员