真空探针台是一种能够在高真空环境下进行测量和实验的设备，其技术指标对于确保实验的准确性和可靠性至关重要。下面键德测试测量小编就来介绍一些常见的真空探针台技术指标。
真空探针台的技术指标
一、温度范围与制冷形式
温度范围：通常，真空探针台的温度范围较广，以适应不同材料的测试需求。例如，某些型号的温度范围可达80K475K或7K675K，覆盖了从极低温到高温的广泛区间。
制冷形式：常见的制冷形式包括液氮制冷等，以确保探针台能够在所需的温度范围内稳定运行。
二、探针臂与测量能力
探针臂数量：真空探针台通常配备多个探针臂，以满足不同测试点的需求。例如，某些型号可能配备4个直流探针臂。
探针臂移动距离：探针臂在X、Y、Z方向上的移动距离是关键的技术指标，它决定了探针能够到达的测试区域。例如，X方向上的移动距离可达51mm等。
测量频率：探针台能够进行直流到高频(如50MHz)的电学测量，以适应不同频率下的测试需求。
三、控温与测温能力
控温稳定性：控温稳定性是衡量探针台性能的重要指标之一。优秀的探针台通常具有优于±100mK的控温稳定性，以确保测试结果的准确性。
测温方式：探针台上通常配备温度计，用于实时监测探针和样品的温度。这有助于判断系统是否达到温度平衡，从而确保测试的准确性。
四、显微镜系统
光学分辨率：显微镜系统的光学分辨率决定了能够观察到的最小细节尺寸。例如，某些探针台的显微镜系统光学分辨率优于4μm。
照明方式：为了清晰地观察样品，探针台通常配备同轴光和环形光两种照明方式。
五、其他技术指标
真空度：真空探针台的真空度是衡量其性能的重要指标之一。高真空度可以减少空气阻力、空气振动等干扰因素，从而获得更准确的实验数据。例如，某些探针台的真空度可达2×10^-5 Torr。
样品台尺寸：样品台尺寸决定了能够放置的样品大小。常见的样品台尺寸包括2至8英寸等。
兼容性：探针台通常兼容多种测试方法，如IV(电流-电压)测试、CV(电容-电压)测试和RF(射频)测试等。这有助于满足不同测试需求。
综上所述，真空探针台的技术指标涵盖了温度范围、探针臂与测量能力、控温与测温能力、显微镜系统以及其他技术指标等多个方面，这些指标共同决定了探针台的性能和适用范围。在选择真空探针台时，需要根据具体的测试需求和实验条件来综合考虑这些技术指标。
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