金融界2024年12月19日消息，国家知识产权局信息显示，上海盛剑半导体科技有限公司取得一项名为“种真空泵组及废气处理系统”的专利，授权公告号 CN 222162922 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本申请涉及一种真空泵组及废气处理系统。该真空泵组包括主泵和前级泵，主泵与前级泵呈卧式布置，主泵位于前级泵的上方，且主泵与前级泵平行；主泵包括一主泵输出口，前级泵包括一前级泵吸入口；主泵输出口与前级泵吸入口上下对齐设置，并通过法兰结构直接固定连接。与现有技术相比，省去了连接于主泵输出口与前级泵吸入口间的管道连接机构，使得主泵输出口与前级泵吸入口直通，粉末更容易被泵送的气体带走，从而有效防止粉尘堆积，减少了泵送能力的损失；同时降低了真空泵组的整体高度，使得真空泵组体积更小。

本文源自：金融界

作者：情报员