金融界 2024 年 12 月 19 日消息,国家知识产权局信息显示,英利能源发展(保定)有限公司申请一项名为“硅片表面高方阻扩散方法、TOPCON 电池及其制备方法”的专利,公开号 CN 119132932 A,申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示,本发明提供了一种硅片表面高方阻扩散方法、TOPCON 电池及其制备方法,属于太阳能电池制作技术领域,包括:将需要 B 扩散的硅片放入密闭炉管内,并升温至预设反应温度;在炉管内通入氧气和 BCl3,并逐步以梯度分布的浓度使 B 扩散到硅片中;吹扫反应气体并升温,恒温准备后续氧化;氧化阶段,在炉管内通入氧气,与硅片表面发生反应生成氧化硅,以将硅片表面富裕的 B 原子吸出,得到高方阻值硅片;炉管内压力恢复常压,降温,将高方阻值硅片从炉管内取出。通过本发明的扩散方法可以将硅片做到 300 Ω 以上的高方阻,后续配合 LECO 技术,不会影响电池的接触效果,既具有高方阻带来的低表面浓度的钝化效果提升,也能够节省扩散 SE 设备的投入进而降低成本。

本文源自:金融界

作者:情报员