金融界2024年12月19日消息，国家知识产权局信息显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司申请一项名为“一种静电吸盘的氦气供应装置及方法”的专利，公开号 CN 119133031 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明涉及一种静电吸盘的氦气供应装置及方法，所述氦气供应装置包括底板，所述底板上固定设置有氦气进气管路与氦气出气管路，所述氦气进气管路与氦气出气管路通过质量压力控制器相连接，所述氦气出气管路包括并联设置的静电吸盘吹扫管路与抽气泵组管路；所述氦气进气管路包括沿进气方向依次设置的压力调节阀、电子压力计以及第气动阀所述静电吸盘吹扫管路上设置有第二气动阀，抽气泵组管路上设置有第三气动阀。本发明在气动、电控的方式上能够直观有效地实现对静电吸盘底部进行匀热吹扫和温度控制。

本文源自：金融界

作者：情报员