金融界12月23日消息,有投资者在互动平台向奥普光电提问:请问老师,超高分辨率汤姆逊散射光谱仪是用于Euv光刻机的,公司正在研发中;请问目前公司最高端的光谱仪能用于DUV光刻机吗?
公司回答表示:超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目,目标是研制出原理样机及工程样机,研发周期从2023年12月至2026年11月,目前尚未形成产品。
本文源自:金融界
作者:公告君
金融界12月23日消息,有投资者在互动平台向奥普光电提问:请问老师,超高分辨率汤姆逊散射光谱仪是用于Euv光刻机的,公司正在研发中;请问目前公司最高端的光谱仪能用于DUV光刻机吗?
公司回答表示:超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目,目标是研制出原理样机及工程样机,研发周期从2023年12月至2026年11月,目前尚未形成产品。
本文源自:金融界
作者:公告君
00:00
热门跟贴