金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，苏州赛森电子科技有限公司申请一项名为“一种离子注入机及其使用方法”的专利，公开号CN 119170472 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本申请公开了一种离子注入机及其使用方法，涉及半导体制造技术领域，包括：晶圆载台，机械臂；对准台；气锁台；V型臂；靶盘两侧设有夹持点；靶盘的左右两侧设有槽型结构，靶盘表面设有与晶圆的对准标记通过真空吸附点确保晶圆在旋转时紧密贴合靶盘表面，避免旋转时因离心力造成的位移，靶盘两侧的槽型结构为V型臂的晶圆传送提供了稳定的操作路径，确保传送过程顺畅无误，夹持点进一步固定晶圆边缘，在晶圆移动过程中防止晶圆晃动，对准标记则确保晶圆定位精准，实现了现有的离子注入机在生产6英寸晶圆时晶圆发生晃动，导致位置产生偏移的问题，可以使离子注入机可以在生产6英寸晶圆防止晶圆发生晃动，避免位置发生位移。

本文源自：金融界

作者：情报员