金融界2024年12月26日消息,国家知识产权局信息显示,江苏细胞壁智能科技有限公司申请一项名为“一种基于压阻-雪崩效应的MEMS加速度计及其测量方法”的专利,公开号CN 119178900 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明提供一种基于压阻‑雪崩效应的MEMS加速度计及其测量方法,涉及微机电传感技术领域。该加速度计包括基座和设于基座的梁体,梁体具有应力变化区且应力变化区设有具有压阻‑ 雪崩效应的效应结:加速度计还包括均连接于效应结两端的反向偏置电源和测量模块,其中,反向偏置电源用于向效应结施加反向电压以使其进入击穿状态,测量模块用于测量效应结的击穿电参数,且反向偏置电源和测量模块均通信连接于控制模块。该加速度计满足测量灵敏度高、结构简单、制造成本低且体积小巧的需求。
本文源自:金融界
作者:情报员
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