金融界2025年1月14日消息,国家知识产权局信息显示,幂帆科技(上海)股份有限公司申请一项名为“一种晶圆全自动撕膜设备”的专利,公开号CN 119284316 A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本发明属于半导体加工技术领域,是关于一种晶圆全自动撕膜设备,其包括:设备壳体;搬运机械手单元,设于设备壳体内,所述搬运机械手单元将晶圆从晶圆传送盒中取出并送到预设位置;解胶单元,设于设备壳体内;所述搬运机械手单元将晶圆送至解胶单元中进行晶圆膜的解胶;晶圆搬运单元,设于设备壳体内;搬运机械手单元将解胶后的晶圆送至晶圆搬运单元上;撕膜单元,设于设备壳体内;对晶圆搬运单元上的晶圆的晶圆膜进行撕膜;搬运机械手单元将撕膜后的晶圆送至预设位置。采用上述结构后,其有益效果是:能够全自动进行晶圆位置校准、晶圆膜解胶和晶圆撕膜。

天眼查资料显示,幂帆科技(上海)股份有限公司,成立于2012年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本743.7456万人民币,实缴资本74.7126万人民币。通过天眼查大数据分析,幂帆科技(上海)股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目16次,知识产权方面有商标信息16条,专利信息50条,此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自:金融界

作者:情报员