金融界2025年1月14日消息,国家知识产权局信息显示,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司申请一项名为“一种电子器件的制备方法及电子器件”的专利,公开号 CN 119284831 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本申请公开一种电子器件的制备方法及电子器件,涉及微电子技术领域,能够提高电子器件的可靠性。电子器件的制备方法包括:在硅片的一侧依次设置第一介质层和第二介质层;在第二介质层远离硅片的一侧设置光刻胶,以及利用光刻工艺对光刻胶进行图形化处理,以在光刻胶上形成第一过孔;通过第一过孔对第二介质层进行刻蚀,以在第二介质层形成第二过孔,第一过孔与第二过孔连通;去除光刻胶,得到过渡基片;对过渡基片进行至少一次臭氧清洗,以去除过渡基片表面与第二过孔内的有机物;和/或,对过渡基片进行至少一次酸清洗,以去除过渡基片表面与第二过孔内的有机物;对过渡基片进行至少一次去离子水清洗。
天眼查资料显示,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司,成立于2015年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本210526.32万人民币,实缴资本200000万人民币。通过天眼查大数据分析,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司参与招投标项目21次,专利信息137条,此外企业还拥有行政许可103个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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