金融界 2025 年 1 月 14 日消息，国家知识产权局信息显示，无锡嘉森光学科技有限公司申请一项名为“一种微波等离子辅助的溅射光学成膜装置”的专利，公开号 CN 119287328 A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明涉及溅射成膜技术领域，具体公开了一种微波等离子辅助的溅射光学成膜装置，包括真空箱、磁控溅射箱真空排气区和氧化反应区，所述磁控溅射箱安装于真空箱的侧壁且呈相通设置，两个所述磁控溅射箱关于真空箱呈对称分布，所述真空排气区和氧化反应区均位于磁控溅射箱的侧壁，所述真空箱内设置有旋转组件。本发明保持了磁控溅射靶材与基板之间的间距，提高了溅射成膜过程的稳定性和成膜效果，具有了对靶材消耗状态的监测控制功能，大幅简化了人的观察操作过程，降低了溅射靶材镀穿后的风险，提高了安全性，通过固态微波源的设置，将氧化区构建为氧等粒子活化区，实现了更好的氧化效果。

天眼查资料显示，无锡嘉森光学科技有限公司，成立于2021年，位于无锡市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币，实缴资本167.63万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡嘉森光学科技有限公司共对外投资了1家企业，知识产权方面有商标信息2条，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可2个。

本文源自：金融界

作者：情报员