金融界 2025 年 1 月 15 日消息,国家知识产权局信息显示,西安龙威半导体有限公司申请一项名为“一种真空度监控系统及方法”的专利,公开号 CN 119290248 A,申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示,本发明涉及一种真空度监控系统及方法,该系统包括:相互电连接的传感器模块和数据分析模块;传感器模块,设于一个密封腔室内,用于定时采集该密封腔室内的真空度数据;数据分析模块,用于接收并存储传感器模块发送的真空度数据,并利用真空度数据与预设真空度数据进行运算处理,获得一个处理值,判断处理值是否处于预设上限值与预设下限值所组成的范围内,若否,基于处理值对应的判断结果,生成报警信息。该系统可以通过实时监测密封腔室的真空度变化,并存储对应的真空度数据的手段,可以极大减小半导体器件制造的真空工艺作业环节,半导体表面状态对真空度的影响,稳定密封腔室的真空稳定性。
天眼查资料显示,西安龙威半导体有限公司,成立于2018年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本66068.167985万人民币,实缴资本64498.167985万人民币。通过天眼查大数据分析,西安龙威半导体有限公司参与招投标项目19次,专利信息5条,此外企业还拥有行政许可24个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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