金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，深圳绿源轩电子技术有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法”的专利，公开号CN 119297126 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体晶圆处理的技术领域，特别涉及一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法，包括矩形箱，矩形箱的中部开设有贯通至其两侧的贯通槽，贯通槽内滑动设置有放置板，放置板上设置有用于放置晶圆的放置单元，且矩形箱上端开设有贯通至其内部的圆槽，圆槽上安装有用于对放置板上的晶圆进行兆声波清洗的兆声波单元，本发明中的多个放置单元呈圆周排列，并能够带动晶圆进行自转同步的兆声波单元还能够沿着圆槽的排布路径进行转动，因此，仅通过一个兆声波装置即可以对多个晶圆进行同步清洗，效率较高，进一步提高了本发明的适用性。

天眼查资料显示，深圳绿源轩电子技术有限公司，成立于2013年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本600万人民币，实缴资本480万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳绿源轩电子技术有限公司知识产权方面有商标信息20条，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可6个。

本文源自：金融界

作者：情报员