金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，武汉楚兴技术有限公司申请一项名为“一种半导体热处理设备及副产物检测方法”的专利，公开号 CN 119297106 A，申请日期为 2023年7月。

专利摘要显示，本申请提供一种半导体热处理设备及副产物检测方法，半导体热处理设备包括反射板、承载台、摄像模块和图像识别与处理模块，承载台位于反射板的一侧，用于放置晶圆，在工艺过程中，在反射板和晶圆之间会形成工艺副产物，可以将工艺副产物作为目标检测物。摄像模块用于在承载台未放置晶圆时，对目标检测物进行拍摄，得到目标图像，图像识别与处理模块对目标图像进行图像处理得到目标检测物的分布信息，目标检测物的分布信息可以反映反射板表面的工艺副产物的分布情况，相比于人工检测，既能实现实时检测，还能提高检测的准确性，降低人力成本，提高半导体热处理设备的质量，提高机台的产能利用率，提高产品良率。

天眼查资料显示，武汉楚兴技术有限公司，成立于2022年，位于武汉市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1666700万人民币，实缴资本1000000万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉楚兴技术有限公司参与招投标项目35次，知识产权方面有商标信息9条，专利信息53条，此外企业还拥有行政许可268个。

本文源自：金融界

作者：情报员