金融界2025年1月16日消息,国家知识产权局信息显示,立川(无锡)半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆电性能检测设备”的专利,公开号 CN 119297104 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆检测技术领域,具体为一种晶圆电性能检测设备,其能够实现晶圆的自动检测,省去人力操作,提高检测效率和准确性,其设备罩壳内设置有检测平台,检测平台上设置有连接X、Y两轴驱动机构的移动台,移动台上安装有连接Z轴升降机构的升降台和下视觉相机,升降台上安装有晶圆吸附平台,设备罩壳的顶部盖板上安装有探针卡盘,探针卡盘上设置有探针电路板,晶圆吸附平台的上方设置有上视觉相机,上视觉相机连接横移驱动机构;检测过程:晶圆放置于晶圆吸附平台上,下视觉相机拍摄探针电路板上的探针结合上视觉相机拍摄晶圆上的mark点确定晶圆吸附平台的移动路径,晶圆吸附平台带着晶圆移动至探针电路板下方,晶圆升起进行测试。
天眼查资料显示,立川(无锡)半导体设备有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币,实缴资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,立川(无锡)半导体设备有限公司共对外投资了1家企业,专利信息30条,此外企业还拥有行政许可6个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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