金融界2025年1月18日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN 222349120 U，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体工艺设备，其包括工艺腔室、多个晶舟以及两组相对设置的进气装置和排气装置：其中，工艺腔室具有环状腔体，以及分别设置在环状腔体内周和外周的内周壁和外周壁；多个晶舟均具有沿轴线分布的多个承载部，承载部用于承载晶片；多个晶舟绕环状腔体轴线周向地分布在环状腔体中，且能够绕环状腔体的轴线旋转，以能够旋转至相对设置进气装置和排气装置之间形成的工艺气流场，从而使工艺气体交替沉积在晶片上。本实用新型提供的半导体工艺设备可以实现同时容纳多个晶舟，从而有效减少能源浪费并减少设备占用空间。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目992次，知识产权方面有商标信息31条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。

本文源自：金融界

作者：情报员