金融界2025年1月18日消息,国家知识产权局信息显示,荣芯半导体(淮安)有限公司申请一项名为“深槽隔离结构及其制作方法”的专利,公开号CN 119314942 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种深槽隔离结构及其制作方法,所述深槽隔离结构包括:基底,包括P型轻掺杂衬底以及位于P型轻掺杂衬底上的P型轻掺杂外延层;N型重掺杂层,位于P型轻掺杂外延层上;深槽,贯穿N型重掺杂层并延伸至基底内;电介质层,覆盖深槽的侧壁与底部;贯穿槽,贯穿位于深槽底部的部分区域的所述电介质层,暴露出基底;第一半导体材料层,为P型外延层,填满贯穿槽与基底形成电连接;第二半导体材料层,填充深槽,与第一半导体材料层连接,且深槽顶部的第二半导体层具有金属接触。本发明降低了深槽填充的难度及工艺成本,同时降低了深槽内的第二半导体材料层与基底之间电连接的电阻,提高了电连接的均匀性与稳定性。

天眼查资料显示,荣芯半导体(淮安)有限公司,成立于2021年,位于淮安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本750000万人民币,实缴资本730000万人民币。通过天眼查大数据分析,荣芯半导体(淮安)有限公司参与招投标项目17次,专利信息36条,此外企业还拥有行政许可35个。

本文源自:金融界

作者:情报员