金融界2025年1月21日消息，国家知识产权局信息显示，长春长光正圆微电子技术有限公司申请一项名为“一种监测快速热退火设备稳定性的方法”的专利，公开号 CN 119269142 A，申请日期为 2024年9月。

专利摘要显示，本发明涉及一种监测快速热退火设备稳定性的方法，属于快速热退火设备监测技术领域。本发明的监测快速热退火设备稳定性的方法，包括以下步骤：S1.通过在不同参数条件下的模拟计算，得出温度的规律；S2.分别根据模拟计算的参数进行实际生产实验；S3.生产的结果与拟合结果对比根据温度拐点及反应速率斜率判断机台温度状态；S4.根据拟合结果预测实际生产时不同参数的扩散结果确定机台稳定性。本发明的方法可监测RTP机台的稳定性，预测生产肖特基二极管中TiSix的厚度，为实际生产过程中避免机台受到沾污以至于影响生产的WPH，同时也保证了机台中尽可能达到降本增效的目的。

天眼查资料显示，长春长光正圆微电子技术有限公司，成立于2022年，位于长春市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本130000万人民币，实缴资本130000万人民币。通过天眼查大数据分析，长春长光正圆微电子技术有限公司知识产权方面有商标信息8条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可5个。

本文源自：金融界

作者：情报员