金融界2025年1月22日消息，国家知识产权局信息显示，广东中图半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种刻蚀托盘和刻蚀夹具”的专利，公开号CN 119275078 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种刻蚀托盘和刻蚀夹具。刻蚀托盘包括支撑板和位于支撑板一侧的多个凸台，晶片装载至凸台背离支撑板的一侧；支撑板与凸台之间通过连接件固定，至少部分凸台与支撑板之间存在第一间隙；多个凸台包括第一凸台和第二凸台，在支撑板所在平面的延伸方向上，第一凸台与支撑板中心的距离和第二凸台与支撑板中心的距离不同；在支撑板厚度方向，第一凸台朝向支撑板的一侧表面与支撑板之间具有第一间距，第二凸台朝向支撑板的一侧表面与支撑板之间具有第二间距，第一间距和第二间距不同。通过上述方案，可提升刻蚀托盘的使用寿命，保证刻蚀工艺制程稳定性，降低制造成本；另外还可实现不同区域晶片刻蚀效率的调整，提升刻蚀一致性。

天眼查资料显示，广东中图半导体科技股份有限公司，成立于2013年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41227.6026万人民币，实缴资本41227.6万人民币。通过天眼查大数据分析，广东中图半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目23次，知识产权方面有商标信息8条，专利信息123条，此外企业还拥有行政许可92个。

本文源自：金融界

作者：情报员