金融界2025年1月23日消息,国家知识产权局信息显示,珠海天成先进半导体科技有限公司取得一项名为“一种晶圆显影装置”的专利,授权公告号CN 222319288 U,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本实用新型公开一种晶圆显影装置,包括喷涂组件,所述喷涂组件的喷口竖直向上设置;所述喷涂组件上连接有显影液供给单元以及定影液供给单元;所述喷涂组件的下方设有显影液回收单元以及定影液回收单元;所述显影液回收单元与所述显影液供给单元连接,所述定影液回收单元与所述定影液供给单元连接。利用喷口竖直向上设置的喷涂组件以及与其连接的显影液供给单元以及定影液供给单元对晶圆的显影以及定影过程喷涂组件直接将显影液或定影液喷涂至位于其上方的晶圆面上,晶圆无需旋转,避免了污染晶圆,另外,多余的显影液或定影液由于重力作用回落至位于喷涂组件下方的显影液回收单元或定影液回收单元中,有效实现了显影液与定影液的二次回收利用。
天眼查资料显示,珠海天成先进半导体科技有限公司,成立于2023年,位于珠海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本95000万人民币,实缴资本95000万人民币。通过天眼查大数据分析,珠海天成先进半导体科技有限公司参与招投标项目487次,知识产权方面有商标信息3条,专利信息64条,此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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