金融界2025年1月25日消息,国家知识产权局信息显示,珠海诺净科技有限公司申请一项名为“一种半导体制备设备的器件去金属离子的工艺”的专利,公开号 CN 119346517 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明旨在提供一种清洁效果好、环保、对器件表面清洁彻底且对器件无损伤的半导体制备设备的器件去金属离子的工艺。该工艺包括以下步骤:a、将待清洗的器件通过带有翻转功能的吊挂装置(3)吊挂在清洗槽(1)内,并使器件完全浸没于臭氧微细气泡水中,清洗槽内的水温为30~40℃,器件通过吊挂装置在水中被翻转;b、到达设定的第一清洗时间后,吊挂装置停止翻转,微细气泡水发生装置(2)停止工作;c、将清洗槽排空,重新注入臭氧微细气泡水,待器件被完全浸没后,吊挂装置继续带动器件在水中翻转设定的第二清洗时间;d、吊挂装置停止工作,微细气泡水发生装置停止工作,将清洗后的器件取出并烘干。本发明可应用于清洗技术领域。
天眼查资料显示,珠海诺净科技有限公司,成立于2021年,位于珠海市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币,实缴资本15万人民币。通过天眼查大数据分析,珠海诺净科技有限公司知识产权方面有商标信息1条,专利信息6条,此外企业还拥有行政许可6个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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