金融界2025年1月28日消息，国家知识产权局信息显示，苏州镁伽科技有限公司申请一项名为“一种套刻测量方法及相关设备”的专利，公开号 CN 119356046 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种套刻测量方法及相关设备，涉及光刻技术领域。本申请响应于对待测硅片中待测套刻标记的测量请求，基于预先建立的待测硅片对应的目标函数，确定待测套刻标记所处测量位置对应的目标高度值，其中，目标函数是基于对待测硅片中多个测量点的测量位置，以及每个测量位置对应的高度值进行数据拟合得到的函数，用于表征待测硅片中每个测量点的测量位置与高度值之间的函数关系。依据目标高度值和测量位置，控制成像物镜移动至目标高度值对应的目标聚焦位置，对待测套刻标记进行套刻测量。本申请依据每个套刻标记的高度进行自适应调焦，使每个待测套刻标记均能以对应的最佳焦距进行成像，提高成像效果，提高套刻测量的准确性。

天眼查资料显示，苏州镁伽科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本150000万人民币，实缴资本92695.02万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州镁伽科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目53次，知识产权方面有商标信息12条，专利信息451条，此外企业还拥有行政许可9个。

本文源自：金融界

作者：情报员