金融界2025年1月28日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法”的专利，公开号CN 119361407 A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本发明提供一种等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法，该加工时间预测方法通过实验获取新制程下与边缘环材质相同或相近的测试控片边缘的至少一个位置的消耗速率，作为新制程下边缘环的对应位置的消耗速率，由此可以根据现有制程下的等离子刻蚀腔的加工时间(MTBC)和边缘环的对应位置的消耗速率以及新制程下边缘环的对应位置的消耗速率，预估出新制程下的等离子刻蚀腔的加工时间，可以以较低的成本且相对及时准确地评估出新制程下等离子刻蚀腔的加工时间，从而避免新制程导入所带来的风险。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目165次，知识产权方面有商标信息15条，专利信息508条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员