金融界2025年1月28日消息，国家知识产权局信息显示，纽富来科技股份有限公司申请一项名为“带电粒子射束描绘装置、放电检测方法以及放电检测装置”的专利，公开号CN 119361405 A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，提供检测产生图案错误的放电的带电粒子射束描绘装置、放电检测方法以及放电检测装置。本实施方式的带电粒子射束描绘装置具备：放出部，放出带电粒子射束；高压电源，向所述放出部施加带电粒子的加速电压；偏转器，使放出的所述带电粒子射束偏转；载置台，被照射所述带电粒子射束，载置被描绘图案的基板；放电传感器，输出值在供所述放出部和所述偏转器配置的镜筒内或所述高压电源内发生了放电时变动；以及放电检测控制部，将所述放电传感器的输出值转换为始终为相同符号的转换值，计算所述转换值在一定时间内的积分值，基于所述积分值，判定是否发生了产生图案错误的放电。

本文源自：金融界

作者：情报员