金融界2025年1月29日消息，国家知识产权局信息显示，中科芯（苏州）微电子科技有限公司申请一项名为“提高氮化镓晶体管可靠性的制备方法及系统”的专利，公开号 CN 119364792 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明提供提高氮化镓晶体管可靠性的制备方法及系统，涉及制造技术领域，包括将经过预处理的所述蓝宝石衬底置于金属有机化学气相沉积设备中，通入三甲基镓和氨气作为前驱体，进行氮化镓外延生长；采用交替脉冲供给技术，在外延生长过程中引入微量的铁掺杂，用于降低氮化镓层中的背景载流子浓度；在所述氮化镓外延层上，采用光刻和等离子体刻蚀技术形成源极、漏极和栅极结构；随后使用原子层沉积技术在所述栅极区域沉积一层5‑10纳米厚的氧化铪作为栅介质层；接着采用等离子体增强化学气相沉积技术；最后，使用激光退火技术对整个器件进行处理，退火过程在氮气氛围下进行，以消除界面态和降低漏电流。

天眼查资料显示，中科芯（苏州）微电子科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币，实缴资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，中科芯（苏州）微电子科技有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目27次，知识产权方面有商标信息8条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自：金融界

作者：情报员