金融界2025年1月30日消息，国家知识产权局信息显示，苏州镁伽科技有限公司申请一项名为“一种晶圆检测方法及晶圆检测系统”的专利，公开号CN 119375150 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请 提供一种晶圆检测 方法及晶圆检测系 统，获取通过探测器 探测到的第一光斑 位置以及第二光斑 位置；基于第一光斑 位置和第二光斑位 置，调整辅助反射镜 的第一倾斜度，以使 第一光斑位置和第 二光斑位置重合；通 过探测器探测到的 迈克尔逊干涉条纹调整辅助反射镜的第 轴向距离将参考 物镜、测量物镜和第三透镜加入光路中，通过探测到的林尼克 干涉条纹调整参考物镜的第二倾斜度和第一偏心距离；将辅助 反射镜替换为参考反射镜，参考反射镜与参考物镜固定在同一 机械件上。通过额外引入一个独立的辅助反射镜，辅助反射镜 的调配自由度更高，不会被参考物镜所干扰，能够实现参考物 镜和参考反射镜的装调维度的解耦，提高装调效率和准确度。

天眼查资料显示，苏州镁伽科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本150000万人民币，实缴资本92695.02万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州镁伽科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目53次，知识产权方面有商标信息12条，专利信息451条，此外企业还拥有行政许可9个。

本文源自：金融界

作者：情报员