金融界2025年2月3日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“伯努利卡盘装置及晶圆背面清洗装置”的专利，授权公告号CN 222421942 U，申请日期为2024年2月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种伯努利卡盘装置及晶圆背面清洗装置，伯努利卡盘装置包括呈圆盘状且设置有多个气孔的承载盘，还包括位于承载盘上的隔离装置，具有展开状态和收拢状态两种状态，并可在展开状态和收拢状态之间进行切换；当隔离装置处于展开状态时，隔离装置沿承载盘的径向展开以形成第一圆盘，第一圆盘遮挡气孔；当隔离装置处于收拢状态时隔离装置向中心收拢形成直径小于第一圆盘的第二圆盘，隔离装置暴露出气孔。本实用新型通过隔离装置的设置，在进行自动腔室清洁时能够避免对气孔造成污染，在进行晶圆背面清洗时又能够暴露出气孔，与现有技术相比，能够按照设定间隔时间进行自动腔室清洁，节省了人力成本，同时提高了清洁效率。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目165次，知识产权方面有商标信息15条，专利信息508条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员