金融界2025年2月11日消息，国家知识产权局信息显示，安徽熙泰智能科技有限公司取得一项名为“原子层沉积设备的尾气管道”的专利，授权公告号CN 222427547 U，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种原子层沉积设备的尾气管道，包括与反应腔室连接的第一管道，所述第一管道内设置冷凝板，冷凝板设置多个且所有冷凝板在第一管道内呈螺旋状依次布置。本实用新型的原子层沉积设备的尾气管道，通过设置多个呈螺旋向下台阶状分布的冷凝板，增加与管道内尾气的接触面积，能有效冷凝吸附尾气中含有的粉尘，能大幅降低尾气回流造成的腔室污染，减轻particle(微粒)污染的风险，提升产品良率。

天眼查资料显示，安徽熙泰智能科技有限公司，成立于2016年，位于芜湖市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本23810.43万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽熙泰智能科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目45次，知识产权方面有商标信息7条，专利信息446条，此外企业还拥有行政许可9个。

本文源自：金融界

作者：情报员