金融界2025年2月11日消息,国家知识产权局信息显示,四川江化微电子材料有限公司申请一项名为“一种EBR溶剂及其精馏制备工艺”的专利,公开号CN 119390526 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明 公开了一种EBR溶剂 及其精馏制备工艺, 属于半导体材料加 工技术领域;其中 EBR溶剂包括按以下 百分比计的下述成 分:丙二醇甲醚醋酸 酯95%~98%,丙二 醇甲醚2%~5 %。 EBR溶剂通过稀释清 洗工序产生的废液精馏回收制得,主要步骤如下:S1:沉降过 滤:过滤废液中得固体杂质;S2:初步除水:通过普通蒸馏罐先 除去过滤废液中的一部分水分,得到初级废液原料;S3:进料: 初级废液原料引入精馏塔内进行间歇蒸馏提纯;S4:除水:利用 萃取剂先除尽初级废液原料中的水分;S5:萃取剂回流;S6:采 出萃取剂水分除尽后将萃取剂采出S7 采出EBR溶剂本发 明解决了目前对光刻胶清洗废液中的有效成分EBR溶剂进行回 收的纯度不高,导致回收再利用效果不佳的问题。
天眼查资料显示,四川江化微电子材料有限公司,成立于2017年,位于眉山市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币,实缴资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,四川江化微电子材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目7次,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可45个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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