金融界2025年2月12日消息,国家知识产权局信息显示,湖南三安半导体有限责任公司取得一项名为“载盘末端执行器组件”的专利,授权公告号CN 222434685 U,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆设备领域,具体而言,涉及一种载盘末端执行器组件。载盘末端执行器组件包括执行器机构、标示光源、载盘和气浮盘;所执行器机构具有第一标志线,载盘具有第二标志线;第一标志线、第二标志线均为直线段,且第二标志线的延伸方向均与气浮半月件的长度方向具有夹角;标示光源能够发出具有预设宽度的标示光线;当执行器机构能够移动至载盘上方时,移动执行器机构能够使得标示光线穿设第二标志线后与第一标志线对齐;载盘的中心设置有定位部,气浮盘的中心设置有配合部,定位部可转动地设置于配合部中以实现载盘和气浮盘的中心对齐。如此能够确保执行器、载盘和气浮盘三者的位置相对稳定,从而保障晶片的品质。
天眼查资料显示,湖南三安半导体有限责任公司,成立于2020年,位于长沙市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本450000万人民币,实缴资本100000万人民币。通过天眼查大数据分析,湖南三安半导体有限责任公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目51次,专利信息399条,此外企业还拥有行政许可80个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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