金融界2025年2月21日消息，国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司申请一项名为“光致抗蚀剂剥离剂组合物和用于形成图案的方法”的专利，公开号CN 119493347 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本公开涉及光致抗蚀剂剥离剂组合 物和用于形成图案的方法。根据一个或多个实施例的所述光致抗蚀剂剥离剂组合物包括胺化合物、环状醇、质子极性有机溶剂、非质子极性有机溶剂和具有4至6碳原子的多元醇。所述光致抗蚀剂剥离剂组合物中的所述胺化合物可以具有大约80g/mol或更小的分子量和大约27至大约32的根据等式1的HSPo值。根据一个或多个实施例的所述光致抗蚀剂剥离剂组合物可以用在去除在下膜上形成的光致抗蚀剂图案的工艺中，并且可以为光致抗蚀剂供应优异或合适的剥离能力以及防止或减少所述下膜的损坏的特性。

本文源自：金融界

作者：情报员