金融界2025年2月28日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“腔室进气结构和半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN 222530375 U，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种腔室进气结构和半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域，以解决微波模块的微波进入到半导体工艺腔室的问题。腔室进气结构配置为连接于微波模块的发生腔与工艺腔室之间，包括自上而下贯穿的通气孔，通气孔的轴线包括折线和弧线两者中的至少一者。该腔室进气结构可以有效地防止微波模块的微波进入到半导体工艺腔室。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1008次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。

本文源自：金融界

作者：情报员