金融界2025年3月15日消息,国家知识产权局信息显示,中科汇珠(广州)半导体有限公司申请一项名为“一种载物台、研磨/抛光装置以及载物台的温度控制方法”的专利,公开号 CN 119609916 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明实施例提供了一种载物台、研 磨/抛光装置以及载物台的温度控制方法,该载物台包括:相互扣合的上半载物台和下半载物台,其上半载物台的顶部用于承载晶圆;半导体制冷片,设置于上半载物台和下半载物台之间,用于对所述晶圆升温或降温;所述下半载物台底部设置有电缆穿孔;所述半导体制冷片的电缆,穿过所述电缆穿孔,通过直流供电。本申请实施例提供的载物台、研磨/抛光装置和载物台的温度控制方法,使待研磨/抛光晶圆的装载和卸载过程更便捷,以及能改善晶圆研磨/抛光的效果。

天眼查资料显示,中科汇珠广州)半导体有限公司,成立于2022年,位于广州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本15000万人民币,实缴资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,中科汇珠(广州)半导体有限公司参与招投标项目6次,专利信息3条,此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自:金融界

作者:情报员