2025年3月14日，半导体设备材料ETF(159516.SZ)收涨1.98%，成交1.63亿元。净流出5519.73万元（净赎回份额*单位净值），居可比基金第一。

资金流出也带来了份额的减少，该基金最新份额较前一日减少5100.00万份，跌破20.00亿份。与此同时，该基金最新规模达21.55亿元。

半导体设备材料ETF(159516.SZ)，场外联接(A：019632；C：019633)。