金融界2025年3月17日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导稀材股份有限公司申请一项名为“一种表面粗糙度低的氧化铟锡薄膜及其制备方法”的专利，公开号CN 119615061 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明属于ITO薄膜技术领域，公开了一种表面粗糙度低的氧化铟锡薄膜及其制备方法，该氧化铟锡薄膜中In2O3的摩尔含量为88‑92％，SnO2的摩尔含量为8‑12％，所述氧化铟锡薄膜由氧化铟锡靶材在持续通入Ar‑H2气体和Ar‑O2气体的情况下以800‑1000w的溅射功率制备得到；所述氧化铟锡薄膜的厚度为100‑110nm，所述Ar‑H2气体的流量为Ar‑H2气体和Ar‑O2气体流量总和的80‑90％，所述Ar‑H2气体中H2的体积含量为2‑3％，Ar‑O2气体中O2的体积含量为10‑11％。本发明公开了一种表面粗糙度低的氧化铟锡薄膜，该氧化铟锡薄膜的表面粗糙度远远低于高端薄膜应用需求3nm，达到了低于1nm的级别，大大提高了薄膜应用过程中电子在薄膜表面的传输效果。

天眼查资料显示，广东先导稀材股份有限公司，成立于2003年，位于清远市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本37676.6226万人民币，实缴资本37676.6226万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导稀材股份有限公司共对外投资了38家企业，参与招投标项目45次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息285条，此外企业还拥有行政许可349个。

本文源自：金融界

作者：情报员