金融界2025年3月19日消息，国家知识产权局信息显示，上海富乐德智能科技发展有限公司申请一项名为“一种刻蚀用全氟烷氧基树脂蒸发皿清洗方法”的专利，公开号CN 119634381 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明公开 了一种刻蚀用全氟烷氧 基树脂蒸发皿清洗方法。 一种刻蚀用全氟烷氧基 树脂蒸发皿清洗方法，包 括如下步骤：步骤一，蒸 发皿预清洗：步骤二，超 声波清洗；步骤三，超纯 水清洗；步骤四，硝氟酸 清洗；步骤五，稀王水清 洗；步骤六，氢氟酸蒸干； 步骤七，上机测试。本发明获得石英刻蚀条件下 洁净的PFA蒸发皿，降低石英刻蚀测定八种杂质元素的方法检 出限；可获得耐高温耐强酸PFA蒸发皿清洗流程；使用后的蒸发 皿可采用该清洗方法多次清洗，增加使用次数，降低实验成本。

天眼查资料显示，上海富乐德智能科技发展有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币，实缴资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海富乐德智能科技发展有限公司参与招投标项目7次，专利信息66条，此外企业还拥有行政许可19个。

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