金融界2025年3月21日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“刻蚀腔体环境测试装置及刻蚀机台”的专利，授权公告号 CN 222636120 U，申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种刻蚀腔体环境测试装置及刻蚀机台，包括固定件、顶门板、FBAR 传感器及标片，固定件内设置有贯穿固定件的空腔，顶门板的端部与固定件的侧壁活动连接且覆盖空腔，FBAR 传感器位于顶门板的表面，标片位于 FBAR 传感器的表面且通过顶门板的旋转在空腔内进行位置转换。本实用新型可实现对腔体表面沉积物质量进行动态检测，实现对腔体环境变化的检测，最大程度模拟腔体内副产物的附着过程，且通过顶门板的旋转在不开腔的情况下可便捷的进行刻蚀副产物的成分分析；可极大减小对腔体工艺的影响；还可设置底门板，以进一步的提高测试过程中刻蚀腔体的密闭性，避免测试过程对刻蚀腔体环境的影响。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目166次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息593条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员