金融界2025年3月21日消息,国家知识产权局信息显示,英飞凌科技股份有限公司申请一项名为“用于微机电系统微镜的夹层结构”的专利,公开号 CN 119644577 A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本公开涉及用于微机电系统微镜夹层结构。微机电系统(MEMS)反射镜器件包括:框架,其限定框架腔;悬置组件;以及反射镜本体,其通过悬置组件耦合到框架,使得反射镜本体悬置在框架腔上方。反射镜本体包括夹层结构,该夹层结构包括前板、背板以及布置在前板和背板之间的中空芯组件。前板和背板限定反射镜本体的厚度尺寸。中空芯组件包括多个支撑结构,该多个支撑结构在前板和后板之间延伸并且在前板和后板之间限定多个腔。

本文源自:金融界

作者:情报员