WKEA维嘉最新推出了一款平行密封型门阀XGTP系列。产品采用平行密封结构,可对应300mm晶圆。适用于半导体装置的真空工艺腔室与传输腔室之间的密封。

大家还有什么想了解的,欢迎私信告诉小嘉。更多精彩工业品行业内容尽在“WKEA维嘉公众号”,快来关注吧!