金融界2025年3月25日消息,国家知识产权局信息显示,上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“阀及其应用的晶圆加工设备”的专利,公开号CN 119664939 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本公开实施例提供阀及其应用的晶圆加工设备。阀包括阀壳、密封构件和锁止构件。阀壳包括阀腔,以及供连通阀腔的进气口和出气口。密封构件包括阀盖、第一驱动件和密封圈;阀盖可旋转地设于阀腔中,以被旋转至开/闭出气口;第一驱动件连接并驱动阀盖,以调节出气口的开度;密封圈设于阀盖及阀腔于出气口周侧的内壁面之间。锁止构件,设于阀腔,且在阀盖到达盖合位置时,提供令阀盖将密封圈压紧至内壁面的施力。晶圆加工设备包括阀。在阀盖与进气口之间设置密封圈,提高阀盖与出气口之间的密封效果,避免气体从阀盖与出气口之间的间隙泄漏的情况发生。也可避免因阀盖与出气口之间的间隙不在泄漏检测的范围内,导致气体泄漏而不知情的情况发生。
天眼查资料显示,上海邦芯半导体科技有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币,实缴资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析,上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息99条,此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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