金融界2025年3月25日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“一种照明系统及光刻机”的专利，公开号CN 119668045 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请公

开了一种照明系统及

光刻机，涉及半导体设

备技术领域，本申请的

照明系统，包括光源模

块以及依次设置于光

源模块出光侧的匀光

模块、狭缝板和中继模

块，光源模块出射的光

线依次经过匀光模块、

狭缝板上的狭缝和中

继模块后照射至目标面上，其中，匀光模块包括沿光路依次间

隔设置的第一匀光棒、散射元件和第二匀光棒，光源模块出射

的光线依次经过第一匀光棒的匀光、散射元件的散射以及第二

匀光棒的匀光，中继模块用于增大光线的照明视场。本申请提

供的照明系统及光刻机，能够在缩短照明系统体积的基础上，

提高照明系统照明的均匀性。

天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币，实缴资本870.5502万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自：金融界

作者：情报员