
新凯来展台
近期,一家国内半导体设备厂商突然“出圈”,成为众人瞩目的焦点。
钛媒体硅基世界 3月28日消息,上海SEMICON China 2025半导体展期间,国产芯片设备公司“新凯来”发布6大类31款新品,覆盖刻蚀产品、扩散产品、薄膜产品以及物理量测、X射线量测、光学量检测6大类。
具体来说,新凯来正在利用多重图形曝光等技术提升芯片制造工艺,公布包括外延沉积EPI设备(峨眉山系列)、原子层沉积ALD设备(阿里山系列)、物理气相沉积PVD设备(普陀山系列)、刻蚀ETCH设备(武夷山系列)、薄膜沉积CVD设备(长白山系列)和量检测设备(包括岳麓山、丹霞山、蓬莱山、莫干山、天门山、沂蒙山、赤壁山、功率检测RATE系列)产品。
这是新凯来成立近四年来首次对外公开产品线,也被市场称为国产芯片设备的“重大突破”。
3月27日上午的IC产业链国际论坛“制造设备与制程”上,新凯来工业机器有限公司工艺装备产品线总裁杜立军表示,AI、智能驾驶等产业的算力需求推动芯片装备市场稳步增长,设备技术演进方向是更高能量控制精度、更快硬件响应速度、更大工艺窗口。
杜立军称,该公司可以使用非光学技术来解决一些光刻设备问题。他以射频/等离子体场为例,预计会有10倍的能量控制精度提升,时延从10毫秒缩短到1毫秒的硬件响应速度提升,覆盖先进逻辑和存储,支持向更先进节点演进。
受上述以及国产芯片利好消息影响,芯片供应链相关公司股价上涨。截至3月28日收盘,江丰电子(300666.SZ)涨超0.37%,此前一度涨超5%;联得装备(300545.SZ)涨超4%;凯美特气(002549.SZ)、至纯科技(603690.SH )涨停(10%);新莱应材(300260.SZ)收涨14.45%。

据悉,芯片半导体产业链包括芯片设计、制造、封装,以及设备材料等环节。
其中,作为芯片供应链上的重要一环,芯片设备涵盖刻蚀机、电子束曝光机等多种关键装备,是芯片制造的基础,同时也是是生产芯片的关键工具。这些设备能够实现超高精度的加工,将复杂的电路图案转移到半导体晶圆上,制造出纳米级别的晶体管等元件。
没有先进的芯片设备,就无法生产出高性能、低功耗的芯片,而芯片又是智能手机、计算机、人工智能、物联网、汽车电子等众多领域的核心部件,直接影响着这些产业的发展水平和创新能力,进而对整个国家的科技竞争力、经济发展以及国家安全产生深远的影响。
随着芯片制造工艺的持续演进,尤其晶体管数量从数十亿跃升至数百亿,因此,这对芯片设备提出的要求更是与日俱增。如今,除了芯片光刻、量测设备之外,大部分国产半导体设备正在从低端成熟工艺节点,向先进、高端、特色工艺节点方向迈进,新凯来就是这个过程中的“新物种”。
新凯来全称是“深圳市新凯来技术有限公司”,成立于2021年8月,隶属于深圳市重大产业投资集团,是深圳国资委全资子公司。其设计理念为“一代工艺、一代材料、一代装备”,业务范围涵盖半导体装备及零部件研发和制造,半导体制造过程中所需的关键设备和零部件等。
天眼查显示,新凯来股东为深圳市深芯恒科技投资有限公司,持股比例100%,穿透后公司实控主体是“深圳市人民政府国有资产监督管理委员会”。同时,该公司对外投资和关联方还包括深圳市新凯来工业机器有限公司、北京/上海新凯来技术有限公司、深圳市星光立索科技有限公司等主体。
作为深圳国资委旗下的企业,新凯来在资金、资源和政策支持方面具有显著优势,创始团队来自国内科技大厂的“星光工程事业部”,公司资金与深圳的一期500亿元产业基金有关。目前,除了总部深圳,新凯来还在上海、北京、西安、武汉、成都、杭州等城市及海外设有研发中心,建立基础材料工艺、零部件、装备端到端研发体系。
杜立军表示,如何解决芯片设备挑战,新凯来提出三个解决路径——新材料、先进光刻+非光补光和3D架构,从而开发多重图形曝光、自对准和选择性沉积等技术,进而在系统架构、硬件、器件和算法方面全面布局。另外,新凯来还从硬件和算法上进行投入,考虑如何利用 AI 调优提升效率。
尽管此次展会上新凯来没有展示更多芯片核心设备如光刻,但活动现场工作人员对外表示,其中一些机器(包括不在产品清单上的蚀刻工具)能够支持更先进制程的芯片生产。
行业分析认为,面对美国出口管制,这些工具有望增强中国在科技自主方面的努力,从而减少中国对外国芯片制造设备的依赖。
根据SEMI报告显示,2024年,全球半导体设备投资规模达1128亿美元左右,预计2025年,全球设备投资规模达1215亿美元,2026年进一步增长至1394亿美元。从现在开始到2027年,预计将有105家新建晶圆厂投产,其中亚洲地区有75家,届时晶圆厂设备(WFE)规模增长至1220亿元以上。
其中,SEMI指出,2025年,中国在计算芯片制造设备的投资额将达到380亿美元。预计到2026年,AI 将带动芯片制造投资再增长18%,从而推动2030年全球半导体产业增长至1万亿美元,2035年预计超2.1万亿美元。

SEMI全球副总裁、中国区总裁居龙表示,半导体产业正迎来一个前所未有的黄金年代。2023年半导体产业适逢下行周期,销售额下滑约11%,2024年产业规模增长19%至6280亿美元。2025年,全球半导体销售额预计将出现两位数的增长,2030年达到万亿美元。
3月27日论坛上,中国半导体行业协会集成电路设计分会理事长、清华大学教授魏少军表示,当前中国芯片产业形势“怪”,国际形势上属于“波诡云谲”。
“未来世界会不会形成中美各自领导的(芯片)技术体系,好像听着有道理,但是从产业发展角度来看,真要发生这种状况的话,恐怕是一个巨大的悲哀,可能是一个几败俱伤的结果。”魏少军认为,虽然芯片产业受到地缘政治影响,但是“没有一个国家,也没有一个企业能把所有的事情都做成”,这个世界需要大家合作。
魏少军认为,中国芯片半导体产业还是要坚定信心,保持发展定力,要集中精力、聚焦发展,半导体是一个干出来的行业,不是说出来的,要用实际行动来证明其价值。
“其实过去的十年,给了我们很多教训。我们受到互联网发展的深刻影响,‘在风口上猪都可以飞起来’,那么,这样的观点是不是真的能够改变半导体行业?看这两天刷屏(如新凯来)的企业们,都是我们这个领域持续坚持、耕耘得到的成果,中国乃至世界半导体发展都证明了这一点。所以,如果我们想要变强,就要聚焦、行动,而不要注重说什么,更重要的是看这家企业到底做了什么。”魏少军称。
魏少军强调,半导体产业需要脚踏实地,长期坚持,同时要勇于创新,形成差异化竞争优势,只有不断进取,做正确的事情和正确的做事,才能取得最终的胜利。
(本文首发于钛媒体App,作者|林志佳)
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